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光學(xué)輪廓儀白光干涉儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SuperViewW1

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

更新時間:2022-10-20 10:29:11瀏覽次數(shù):533次

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SuperViewW1光學(xué)輪廓儀白光干涉儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀白光干涉儀非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件,在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,可以提供更高精度的檢測需求。


部分參數(shù)

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm

表面形貌重復(fù)性:0.1nm

臺階測量重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%


SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg



SuperViewW1光學(xué)輪廓儀白光干涉儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


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